純水·薬液用液中パーティクルカウンタ: HSLIS-M65e
可測粒径: 65-200 nm / 流量: 100 mLPM
HSLIS eシリーズは、製造プロセスに使用される純水または薬液のインライン・モニタリング用液中パーティクルカウンタです。複数台を設置する場合や長期の傾向分析を行う場合など、導入コストおよび運用コストが重要視されるモニタリングに適した装置です。
HSLIS-M65eは、純水のモニタリングにも薬液のモニタリングにも使用でき、65 nmの微粒子を検出します。モニタリングを統合管理するソフトウェア Facility Net (オプション) に 接続することで、測定データをリアルタイムに収集、閲覧、分析することが可能です。
主な仕様
- 4 channel liquid particle counter
- 0.065, 0.1, 0.15 and 0.2 μm particle size range
- Operates with an optimal flow rate of 100 ml/min. +/-10%
- Samples 0.6% of the flow volume or 0.6 ml/min
- Compatible with corrosive liquids, including hydrogen fluoride (HF)
- eSeries compatible with Facility Net Software
- Existing network can be utilized with ethernet communication to Facility Net Software
- Sensitivity range: 0.065 – 0.2 µm
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