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MiniCapt® 圧縮ガスキット

エアサンプラ専用ディフューザ

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主な仕様

  • クリーンドライエア(CDA)、アルゴン(Ar)、窒素(N2)、二酸化炭素(CO2)
  • 導入可能圧力: エアサンプラの流量により
    • 50 kPa – 1 MPa/25 LPM
    • 100 kPa – 1 MPa/50 LPM
    • 150 kPa – 1 MPa/100 LPM
  • HEPAフィルタ
  • 筐体: 316Lステンレス鋼製(チャンバ、レギュレータ、バルブ)
  • 外寸: 幅152 x 奥行102 x 高さ216 mm
  • 重量: 1.86 kg
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