液中パーティクルカウンタ: HSLIS eシリーズ

可測粒径: 0.1-1.0 µm / 流量: 100-300 mLPM

HSLIS eシリーズは、製造プロセスに使用される純水または薬液のインライン・モニタリング用液中パーティクルカウンタです。複数台を設置する場合や長期の傾向分析を行う場合など、導入コストや運用コストが重視されるアプリケーションに適した装置です。

装置の設定、測定データのリアルタイム収集と閲覧、保存、分析、出力などの操作は、ネットワーク上のパーティクルカウンタを統合管理するソフトウェア FacilityNet™ (オプション) を使用して行うことができます。

HSLIS eシリーズには以下の3つのモデルがあります。
HSLIS-M50e: 50 – 200 nm / 100 mLPM / ≦ 90℃ / 純水
HSLIS-M65e: 65 – 200 nm / 100 mLPM / ≦ 100℃ / 純水・薬液
HSLIS-M100e: 100 – 1,000 nm / 300 mLPM / ≦ 100℃ / 純水・薬液

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主な仕様

HSLIS-M50e: 0.05/0.1/0.15/0.2 µm｜サンプル量 0.25 mLPM
HSLIS-M65e: 0.065/0.1/0.15/0.2 µm｜サンプル量 0.6 mLPM
HSLIS-M100e: 0.1/0.2/0.5/1.0 µm｜サンプル量 3.0 mLPM

全モデル共通

粒径区分: 4チャンネル
Ethrenet、4-20 mA出力、RS-232
外寸: 幅27 x 奥行53 x 高さ18 cm
重量: 13 kg

液中パーティクルカウンタ: HSLIS eシリーズ

主な仕様

全モデル共通

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