高圧ガス用パーティクルカウンタ:
HPGP™ 101-C

先端技術を駆使した製造プロセスでは高純度ガスが多用されています。HPGP™ 101-Cは、アルゴン (Ar)、窒素 (N2)、ヘリウム (He)、二酸化炭素 (CO2) といった不活性ガスのみならず、酸素 ( O2)、水素 (H2) などの活性ガスにも対応する気中パーティクルカウンタです。活性ガスもライン圧のままインラインで測定可能です。

ガスの種類に応じて体積流量、粒子径を補正する機能があり、正確な測定結果が得られます。測定結果は専用のデータシステム PDS-E を使用することで、 イーサネットを介してモニタリング統合管理ソフトウェア Facility Net™ (オプション) またはその他の制御システムに送ることができます。