超純水用20nm液中パーティクルカウンタ:
Ultra DI® 20 Plus

可測粒径: 20-100 nm / 流量: 75 mLPM

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主な仕様

  • 粒径区分:4チャンネル(20/50/70/100 nm)
  • 流量:75 mLPM ± 10%
  • PMS TCP/IP、Modbus TCP/IP、4-20 mA出力、RS-232
  • 熱電冷却器を搭載
  • 筐体:316Lステンレス鋼製
  • 外寸:奥行508 x 幅427 x 高さ368 mm
  • 重量:32.2 kg
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