プロセス装置内やEFEM内の常時モニタリング用

NanoAir™ 10 は、ISOクラス１レベルの厳しい基準で管理される清浄区域、特にウエハ搬送モジュール (EFEM) 内やプロセス装置内の常時モニタリングに適した凝縮型気中パーティクルカウンタです。流量2.8 LPMで測定し、粒径10 nmの微粒子を検出します。

NanoAir 10は従来型の扱いやすさを備えた凝縮型パーティクルカウンタです。独自の凝縮制御機構 (特許出願中) により凝縮液は安定した状態に保たれ、24時間/365日フル稼働しても凝縮液の補充は15か月間必要ありません。年次校正の際に補充すれば、モニタリングの中断は最小限にとどまります。また、凝縮の過程で発塵することがないため、高い精度で測定結果が得られます。

ローカル IPアドレスなど装置の設定情報は、取り外し可能なインターフェースユニットに保存されます。そのため、装置の入れ替えが必要なときには、インターフェースユニットを付け替えるだけでモニタリングを再開できます。

多彩な入出力ポートを搭載しており、監視制御システムとの融和性が高く、また、アプリケーションに応じて高圧ディフューザ HPD IIIや専用のマニホールド ParticleSeeker™と組み合わせて使用することができます。

NanoAir™ 10 凝縮型気中パーティクルカウンタは、Particle Measuring Systemsが
設計、製造、設置、校正、修理および保守を行う製品です。