可搬型AMCモニタリングシステム: AirSentry® II Mobile System

クリーンルーム中の分子状汚染物質 (AMC) は、電子デバイスやプロセス装置の性能に影響を及ぼし、歩留ロスや品質劣化の原因になります。適切なモニタリングが、迅速で的確なAMC対策の実施につながります。

AirSentry® II Mobile System は、イオンモビリティ スペクトロメータ (AirSentry II Point-of-Use)、コンプレッサ、エアドライヤ、CDAタンク、真空ポンプ、UPSなど、サンプル採取とAMC検出に必要なコンポーネントをすべてキャスタ付きワゴンに搭載した可搬型システムです。電源に接続せずに、約30分の測定が可能です。

ユーザーインターフェースとして搭載されたタッチパネルPCには、モニタリング統合管理ソフトウェア FacilityNet™ がプリインストールされています。FacilityNet を使用することで、レシピの作成と実行、測定データのリアルタイム表示と保存、アラーム、レポートの生成などを行うことができます。

AirSentry II Mobile System は、迅速な汚染源の特定と汚染防止に有効な、オールインワンの高感度可搬型AMCモニタリングシステムです。