クリーンルーム大気中の分子状汚染物質 (AMC) は、電子デバイスやプロセス装置の性能に影響を及ぼし、歩留ロスや品質劣化の原因になります。適切なモニタリングが、迅速で的確なAMC対策の実施につながります。

AirSentry® II Mobile System は、イオンモビリティ・スペクトロメータ (AirSentry II Point-of-Use)、コンプレッサ、エアドライヤ、CDAタンク、真空ポンプ、UPSなど、サンプル採取とAMC検出に必要なコンポーネントをすべてキャスタ付きワゴンに搭載したシステムです。電源に接続せずに、約30分の測定が可能です。

ユーザーインターフェースとして搭載されたタッチパネルPCには、モニタリング統合管理ソフトウェア Facility Net がプリインストールされています。Facility Net を使用することで、レシピの作成と実行、測定データのリアルタイム表示と保存、アラーム、レポートの生成などを行うことができます。

AirSentry II Mobile System は、迅速な汚染源の特定と汚染防止に有効な、オールインワンの高感度移動式AMCモニタリングシステムです。