AMCモニタ: AirSentry® II Point-of-Use
対応濃度: 0-50 ppbv
クリーンルーム中の分子状汚染物質 (AMC) は、電子デバイスやプロセス装置の性能に影響を及ぼし、歩留ロスや品質劣化の原因になります。適切なモニタリングが、迅速で的確なAMC対策の実施につながります。
AirSentry® II Point-of-Use は、AMCの常時モニタリングに適したイオンモビリティ スペクトロメータ (IMS) です。ppt レベルの酸、アミン、アンモニア、塩化物をリアルタイムで検知します。
AirSentry II Point-of-Use の設定と制御は、クリーンルームのモニタリングを統合管理する FacilityNet™ ソフトウェア (オプション) を使用してネットワーク経由で行います。FacilityNet には測定データを収集、保存、リアルタイム表示する機能や、アラーム、レポートを生成する機能などがあり、AMC汚染源の特定と発生防止に向けた的確な判断と迅速な対処を可能にします。
AirSentry II Point-of-Use のスペックシートのダウンロードはこちらから：
- AirSentry II Point-of-Use (酸、塩基測定用モデル)
- AirSentry II Point-of-Use Chlorides (塩化物測定用モデル)
AirSentry II Point-of-Use を搭載したシステム製品もあります。
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