薬液用40nm液中パーティクルカウンタ: UltraChem® 40
可測粒径: 40-125 nm / 流量: 5 mLPM
高分子溶液にレーザーを照射すると、汚染微粒子だけでなく分子からも光散乱が生じるため、パーティクルカウンタの検出信号にノイズが生じます。また背景ノイズも大きくなり、微粒子からの信号が埋もれてしまいます。NanoVision Technology®は高い画像処理能力により、微粒子と分子の光散乱を識別し、ノイズを除去します。
NanoVision Technologyを搭載するUltraChem® 40 は、高い品質管理が求められるプロセス用高純度薬液や超純水中の汚染微粒子を正確に検出する液中パーティクルカウンタです。
主な仕様
- Compatible with a wide-range of chemicals
- 40 nm liquid particle monitoring sensitivity
- Chemicals include: PGMEA, photoresist solvents, hydrogen fluoride (HF) and sulfuric acid
- 3-year chemical particle counter warranty
- Solid state laser diode
- Simple design for efficient liquid particle monitoring
- Online or batch sampling capabilities
- Multiple communication protocols
- Large sample volume for improved data quality
- Adaptive technology makes this chemical particle counter immune to most optical contamination See what your particle counter sees.
- Measures small particles in a wide range of chemicals, including high molecular scattering fluids
- Small footprint allows placement in various locations
- Quick diagnostics and random distribution alerts you to a real particle event
- DI water monitoring
- Chemical distribution monitoring
- Chemical quality assurance
- Immersion lithography
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