全量測定式液中パーティクルカウンタ: LiQuilaz® II S/Eシリーズ

LiQuilaz® II S/Eシリーズは、 プロセス用薬液または純水の供給システムに設置して清浄度の管理を行うインライン・モニタリングに適した液中パーティクルカウンタです。サンプル全量 (最大80 mLPM) を測定するため、短時間で高精度の測定結果が得らます。フッ酸や高温の腐食性薬液など、ほとんどのプロセス用薬液に対応します。

液体の種類や温度、測定粒径に応じて、SシリーズまたはEシリーズのモデルの中からニーズに見合う装置を選択できます。

• LiQuilaz II Sシリーズ: 0.2-20 μm / 50-80 mLPM / 0-150 °C
• LiQuilaz II Eシリーズ: 1.5-125 μm / 20-70 mLPM / 0-50 °C

LiQuilaz II S/E の設定、測定データのリアルタイム収集と閲覧、分析や出力などの操作は、ネットワーク上のパーティクルカウンタを統合管理するソフトウェア Facility Net (オプション) で実行できます。