薬液用20nm液中パーティクルカウンタ: Chem™ 20
可測粒径: 20-100 nm / 流量: 35 mLPM
Chem 20™ は、最先端の半導体製造において洗浄などに使用される高純度薬液中の不溶性微粒子を常時モニタリングするために開発された、高感度の液中パーティクルカウンタです。超純水用の液中パーティクルカウンタ Ultra DI®シリーズで実績のある光学系をさらに進化させることにより、粒径20 mmの微粒子（20 nmのPSL粒子、9 nmのAu粒子）の検出が、高純度薬液でも可能になりました。
Chem 20は、SLS-20シリンジサンプラを組み合わせることで、バッチ測定にも対応します。
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