超純水用20nm液中パーティクルカウンタ: Ultra DI® 20 Plus
最先端の半導体製造に使用される超純水の微粒子管理に対応した装置。冷却機構が安定した高精度測定を実現。
product application: 超純水・純水
純水用50nm液中パーティクルカウンタ: Ultra DI® 50
シリンジ サンプリング システム: SLS
純水または薬液中の微粒子を測定するパーティクルカウンタを搭載したバッチ測定用シリンジサンプリングシステム。
全量測定式液中パーティクルカウンタ: LiQuilaz® II S/Eシリーズ
プロセス用薬液および純水のインラインモニタリング用、全量測定装置。