薬液用20nm液中パーティクルカウンタ: Chem 20™/SM
可測粒径: 20-100 nm / 流量: 35 mLPM
Chem 20™は最先端の半導体製造に使用される高純度薬液の清浄度管理に有効な液中パーティクルカウンタです。20 nmの微粒子（20 nm PSL粒子 / 9 nm Au粒子）を検出可能です。インライン測定で常時モニタリングに使用することも、専用のシリンジサンプラSLS-20（オプション）と組み合わせて容器から薬液を直接吸入するオフライン測定にも使用できます。
Chem 20™ SMはIPA、PGMEAといった有機溶剤の常時インラインモニタリングに最適化された、キャビネット一体型の液中パーティクルカウンタです。Chem 20パーティクルカウンタと同等の機能に加え、可燃性である有機溶剤の供給設備に接続する環境において、安全に使用できる保護構造を備えています。キャビネット一体型であるため、設置が比較的容易です。
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