Chem 20™専用シリンジサンプラ: SLS-20

SLS-20は、Chem 20™ 液中パーティクルカウンタ専用のシリンジサンプラです。SLS-20を使用することで、薬液をタンクやサンプル容器からChem 20に直接取り込んで、バッチ測定を行えます。

Chem 20は、最先端の半導体製造プロセスで使用される高純度薬液をモニタリングするために開発されたパーティクルカウンタで、20 nmのを微粒子を検出する、すぐれた感度を備えています。SLS-20により、薬液のインライン・モニタリングだけでなく、パーツ洗浄の評価のようなバッチ測定が適したアプリケーションにおいてもChem 20の使用が可能です。

SLS-20の操作はすべてSamplerSightソフトウェア (オプション) で行います。SamplerSightは、Particle Measuring Systemsのバッチ測定用液中パーティクルカウンタに共通のソフトウェアです。