薬液用20nm液中パーティクルカウンタ: Chem 20™
可測粒径: 20-100 nm / 流量: 35 mLPM
Chem 20™は半導体製造において洗浄などの工程で使用される薬液の清浄度管理に有効な液中パーティクルカウンタです。20 nmの微粒子（20 nm PSL粒子 / 9 nm Au粒子）を検出することができ、最先端の半導体製造に使用される高純度薬液に対応します。
インライン に設置して常時モニタリングに使用することも、専用のシリンジサンプラSLS-20（オプション）と組み合わせて容器から薬液を直接吸入するバッチ測定にも使用できます。
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