純水用50nm液中パーティクルカウンタ: Ultra DI® 50
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シリンジ サンプリング システム: SLS
純水または薬液中の微粒子を測定するパーティクルカウンタを搭載したバッチ測定用シリンジサンプリングシステム。
全量測定式液中パーティクルカウンタ: LiQuilaz® II S/Eシリーズ
プロセス用薬液および純水のインラインモニタリング用、全量測定装置。
液中パーティクルカウンタ: HSLIS eシリーズ
純水および薬液のインライン・モニタリング用装置。導入コスト、運用コスト重視。