薬液用20nm液中パーティクルカウンタ: Chem 20™
最先端の半導体製造に使用される高純度薬液の微粒子管理に対応した装置。さまざまな薬液、測定方法に対応可能。
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光遮へい型液中微粒子自動測定システム: APSS-2000
注射剤中の不溶性微粒子の粒径別粒子数の測定 、結果分析、レポート生成までを自動的に連続実行。PC制御。DI対応。
Chem 20™専用シリンジサンプラ: SLS-20
Chem 20™液中パーティクルカウンタ専用のシリンジサンプラ。Chem 20によるバッチ測定が可能。
高圧ディフューザ: HPD III
気中パーティクルカウンタ用アクセサリ。圧縮ガスの圧力を大気圧程度に下げるコンパクトなディフューザ。