高圧ガス用パーティクルカウンタ:HPGP™ 101-C
圧縮ガスのインライン測定用。150 psi までライン圧のまま微粒子測定が可能。ほとんどの不活性ガスと多くの活性ガスに対応。
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圧縮ガスのインライン測定用。150 psi までライン圧のまま微粒子測定が可能。ほとんどの不活性ガスと多くの活性ガスに対応。
リモートサンプリング、圧縮ガスのサンプリングにも対応可能なポータブル型エアサンプラ。
広い区域のモニタリングを1台のパーティクルカウンタで実現するマニホールド、ポンプ、制御ユニットからなるシステム。
最先端の半導体製造に使用される超純水の微粒子管理に対応した装置。冷却機構が安定した高精度測定を実現。