薬液用20nm液中パーティクルカウンタ: Chem 20™
最先端の半導体製造に使用される高純度薬液の微粒子管理に対応した装置。さまざまな薬液、測定方法に対応可能。
product application: 高純度薬液
Chem 20™専用シリンジサンプラ: SLS-20
Chem 20™液中パーティクルカウンタ専用のシリンジサンプラ。Chem 20によるバッチ測定が可能。
シリンジ サンプリング システム: SLS
純水または薬液中の微粒子を測定するパーティクルカウンタを搭載したバッチ測定用シリンジサンプリングシステム。
全量測定式液中パーティクルカウンタ: LiQuilaz® II S/Eシリーズ
プロセス用薬液および純水のインラインモニタリング用、全量測定装置。