PoE対応据置型気中パーティクルカウンタ:
Airnet® II/IIs 2チャンネル
コンパクトで横置き可能な据置型。制御システムとの接続が容易な常時モニタリング用気中パーティクルカウンタ。
product method: インライン / 連続
PoE対応据置型気中パーティクルカウンタ:
超純水用20nm液中パーティクルカウンタ: Ultra DI® 20 Plus
最先端の半導体製造に使用される超純水の微粒子管理に対応した装置。冷却機構が安定した高精度測定を実現。
薬液用20nm液中パーティクルカウンタ: Chem 20™
最先端の半導体製造に使用される高純度薬液の微粒子管理に対応した装置。さまざまな薬液、測定方法に対応可能。
純水用50nm液中パーティクルカウンタ: Ultra DI® 50