超純水用20nm液中パーティクルカウンタ: Ultra DI® 20 Plus
最先端の半導体製造に使用される超純水の微粒子管理に対応した装置。冷却機構が安定した高精度測定を実現。
Product Sensitivity: 20 nm
薬液用20nm液中パーティクルカウンタ: Chem 20™
最先端の半導体製造に使用される高純度薬液の微粒子管理に対応した装置。さまざまな薬液、測定方法に対応可能。
Chem 20™専用シリンジサンプラ: SLS-20
Chem 20™液中パーティクルカウンタ専用のシリンジサンプラ。Chem 20によるバッチ測定が可能。