超純水用20nm液中パーティクルカウンタ: Ultra DI® 20 Plus
可測粒径: 20-100 nm / 流量: 75 mLPM
最先端の半導体製造に使用される超純水の微粒子管理に対応した装置。冷却機構が安定した高精度測定を実現。
薬液用20nm液中パーティクルカウンタ: Chem 20™
可測粒径: 20-100 nm / 流量: 35 mLPM
最先端の半導体製造に使用される高純度薬液の微粒子管理に対応した装置。さまざまな薬液、測定方法に対応可能。
光遮へい型液中微粒子自動測定システム: APSS-2000
薬局方に適合 / 可測粒径: 1.5-125 μm
注射剤中の不溶性微粒子の粒径別粒子数の測定 、結果分析、レポート生成までを自動的に連続実行。DI対応。
Chem 20™専用シリンジサンプラ: SLS-20
対応粒径: 20-100 nm
Chem 20™液中パーティクルカウンタ専用のシリンジサンプラ。Chem 20によるバッチ測定が可能。
純水用50nm液中パーティクルカウンタ: Ultra DI® 50
可測粒径: 50-200 nm / 流量: 1 LPM
最先端の超純水が求める微粒子管理に対応し、卓越した流量とサンプルボリュームが特長の装置。
シリンジ サンプリング システム: SLS
LiQuilaz® II S/E 搭載
純水または薬液中の微粒子を測定するパーティクルカウンタを搭載したバッチ測定用シリンジサンプリングシステム。
全量測定式液中パーティクルカウンタ: LiQuilaz® II S/Eシリーズ
可測粒径: 0.2–20 µm (S) / 1.5–125 µm (E)
プロセス用薬液および純水のインラインモニタリング用、全量測定装置。
液中パーティクルカウンタ: HSLIS eシリーズ
可測粒径: 0.1-1.0 µm / 流量: 100-300 mLPM
純水および薬液のインライン・モニタリング用装置。導入コスト、運用コスト重視。
加圧サンプリングシステム: CLS-700 T
可測粒径: 0.2-20 μm / 流量: 50-80 mLPM
溶存ガス・気泡を含む薬液中の微粒子測定用加圧サンプリングシステム。
純水用流量コントローラ: FC-200/FC-100
純水用液中パーティクルカウンタ専用
脈動対策機構を備えた流量コントローラ。PMS製超純水用インライン測定装置に適応。